極紫外（EUV）球面反射鏡

產(chǎn)品型號(hào)：
更新時(shí)間：2023-12-20
產(chǎn)品介紹：極紫外（EUV）球面反射鏡具有多層鉬/硅鍍膜，在 13.5nm 下的反射率大于 60%。它們專(zhuān)為 5o 入射角設(shè)計(jì)，并用于聚焦非偏振 EUV 激光源。表面粗糙度小于 3? RMS，可大程度地降低散射。這對(duì) EUV 波長(zhǎng)*，因?yàn)?EUV 波長(zhǎng)的散射比長(zhǎng)波長(zhǎng)更多. EUV 球面反射鏡的通帶非常窄，約為 0.5nm，確保只會(huì)在高諧波生成（HHG）應(yīng)用中反射 13.5nm 的關(guān)注諧波。
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產(chǎn)品介紹

價(jià)格區(qū)間	面議	組件類(lèi)別	光學(xué)元件
應(yīng)用領(lǐng)域	電子,航天,綜合

極紫外（EUV）球面反射鏡

超拋光基片上的鉬/硅多層鍍膜

13.5nm 下可實(shí)現(xiàn)的大反射

設(shè)計(jì)用于 EUV 光束聚焦應(yīng)用

適用于 HHG 應(yīng)用的窄通帶

極紫外（EUV）球面反射鏡 具有多層鉬/硅鍍膜，在 13.5nm 下的反射率大于 60%。它們專(zhuān)為 5o 入射角設(shè)計(jì)，并用于聚焦非偏振 EUV 激光源。表面粗糙度小于 3? RMS，可大程度地降低散射。這對(duì) EUV 波長(zhǎng)*，因?yàn)?EUV 波長(zhǎng)的散射比長(zhǎng)波長(zhǎng)更多. EUV 球面反射鏡的通帶非常窄，約為 0.5nm，確保只會(huì)在高諧波生成 (HHG) 應(yīng)用中反射 13.5nm 的關(guān)注諧波。EUV 球面反射鏡的典型應(yīng)用包括相干衍射成像 (CDI)、EUV 成像和 EUV 納米加工.

注意:
每個(gè)反射鏡均附運(yùn)行樣本的測(cè)試數(shù)據(jù).

極紫外（EUV）球面反射鏡產(chǎn)品信息

DWL (nm)	Dia. (mm)	EFL (mm)	涂層	涂層規(guī)格	產(chǎn)品編碼
13.5	25.40	250.00	Mo/Si Multilayer Layer: Silicon	R_abs>60% @ 13.5nm	#11-730

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